반도체 장비주 오로스테크놀로지 오버레이 계측장비 기술력 멋지다

오로스테크놀로지는 반도체 웨이퍼의 회로패턴 정렬 상태를 측정하는 오버레이 장비 제조 사업을 주력으로 하고 있으며 2011년 국내 최초로 Overlay 계측 장비 국산화에 성공했습니다. 뿐만아니라  High Performance AF System 등의 기술 개발과 3대 반도체 계측 장비 부문 중 하나인 Thin Film Metrology 장비도 개발 중입니다.

오로스테크놀로지 주력 기술 오버레이( Overlay) 란?

하나의 반도체를 만들기 위해서는 실리콘 웨이퍼 위에 증착-노광-식각 공정을 반복하면서 순차적으로 패턴을 형성한 후 적층해 나갑니다.각각의 웨이퍼 패턴은 층층이 쌓이게 되는데, 수많은 층 (레이어)이 쌓일때마다 각각의 패턴이 필요한 위치에 정확히 있어야 정상 제품으로 출시 할 수 있습니다. 이렇게 회로패턴을 적층해 갈 때 회로 패턴 간의 정렬 오차가 발생하는지 안하는지를 확인하고 검사하는 과정이 필요한 데, 이것을 검사하고 제어하는 것을 "오버레이" 라고 합니다.

회로의 패턴 정렬도를 확인하기 위해서는 오버레이 타켓을 활용하게 됩니다.오로스테크놀로지는 오버레이 타켓에 대한 기술력을 가지고 있는데요, 전 세계적으로 이런 영역을 할 수 있는 기업이 미국의 KLA, 네덜란드의 SAML 말고는 없다고 볼 수 있는데 오버레이 계측 장비를 국산화를 최초로 성공한 곳이 바로 오로스테크놀로지입니다.

반도체 공정 기술이 갈수록 미세화되면서 오버레이 에러 계측을 위한 오버레이 장비의 중요성이 커지고 있어 반도체 산업이 성장할수록 같이 성장할 가능성이 높다고 보여집니다.

오로스테크놀로지 오버레이 장비 종류

오로스테크놀로지 오버레이 장비 : 출처 오로스테크놀로지 홈페이지

<<웨이퍼 측정>>

1. OL-900n : 5세대 Overlay 측정 장비로 정밀한 공정을 위한 성능과, 빠른 측정 속도로 최신 Device 제조기술 수요에 부합하도록 개발되어 메모리 반도체 D램과 낸드, 로직(LOGIC) 의 측정과 데이터를 관리해줍니다.
2. OL-800n : 동사의 4세대 오버레이 측정 장비로 3세대 대비 반복 재현성,측정시간,정확도 등이 20% 향상된 장비입니다
3. OL-100n : 8인치 오버레이 측정 장비로 오버레이와 CD측정이 가능하고, 측정 속도도 빠릅니다. 기존의 6/8인치 시장은 물론 Si를 이용한 IGBT, MOSFET와 같은 기종의 화합물 반도체(Power devices)에서 사용가능하고 전기자동차의 SiC, GaN기반 제품에서도,5G에 활용되는 GaAs등의 Substrate를 이용한 제품의 오버레이 측정에도 활용됩니다.

<<웨이퍼 검사 장비>>

WBIS-200 : 웨이퍼 백 사이드 스크래지 검사 장비로 Wafer Back면을 검사하여 Scratch 및 Particle 발생 여부를 확인하며장비 생산 정보 시스템과 연계를 통하여 Scratch Source를 유발한 장비의 추적도 가능합니다. Scratch 및 Particle 등이 발생한 위치, Size에 대한 정보를 확인합니다.

<<패키지측정>>

OL-33nw : 웨이퍼 레벨 패키지 오버레이 측정 장비로 패키징 공정에서 발생할 수 있는 웨이퍼의 형태과 표면의 변화에 대응하여 측정하는 장비입니다. 범프 형성 공정 및 하부 패턴과 범프 정렬과 크기를 측정하는데 활용됩니다.

<<패키지검사>>

Wa-PIS-30 : 12인치 웨이퍼 레벨 패키지 검사 장비로 웨이퍼의 이동없이 대면적 영상 촬영으로 속도를 높였고 일반 웨이퍼 공정 및 패키지 공정에서 발생할 수 있는 표면 형상의 측정을 목표로 하고 있는 장비 입니다.

반도체 장비주 관련 기업은..

고객사를 많이 확보해야 성장할 수 있습니다. 오로스테크놀로지는 SK하이닉스를 고객사로 두고 있고 중국과 베트남 등 동남아 시장에 진출을 시작했습니다. 삼성전자에도 테스트 물량이 들어갔다는 소식도 전해집니다. 

미국 정부의 중국 반도체 제재 기조가 지속되면서 미국 KLA 장비 수출도 제한되었는데요, 오로스테크놀로지는 중국의 창신메모리로부터 110억 규모의 공급 계약도 이뤄지며 중화권 수출 수혜를 받을 수 있을 것으로 예상됩니다. 최근에는 박막 계측장비 개발에도 뛰어든 바 신규 장비 개발을 위해 추가적인 성장성도 보여집니다.